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復合導電材料高溫四探針測試機

簡要描述:復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600,該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的。

  • 產品型號:Huace-600
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-07-08
  • 訪  問  量:1445

詳細介紹

品牌北京華測電動機功率*kW
外形尺寸680X450X400mm重量20kg
應用領域化工,能源,電子,電氣,綜合測量溫度室溫---600°C?
控溫精度±1℃?顯示精度±0.1℃
樣品直徑15~30mm,厚度小于4mm

復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600


   復合導電材料高溫四探針測試機Huace-600概述:  

●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng),該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,該設備按照單晶硅物理測試方法標準設計的。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統(tǒng),滿足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求,通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率,可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時間變化的曲 線. 目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進行測試,可以廣泛用于碳系導電材料、 金屬系導電材料、 金屬氧化物系導電材料、結 構型高分子導電材料、復合導電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導率數(shù)據(jù)的變化曲線。


儀器特點:

1、可以測量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;

2、軟件、觸摸屏、高溫爐等集成于一體,可以進行可視化操作;

3、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量;同時保證探針在高溫下不氧化;

4、采用labview軟件開發(fā),操控性、兼容性好、方便升級;

5、可自動調節(jié)樣品測試電壓,探針和薄膜接觸閃絡現(xiàn)象;

6、控溫和測溫采用同一個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度;

7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表;

特點:

● 多級循環(huán)溫度采集技術: 設備采用PID算法,以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值。控溫和測溫采用同一個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙系統(tǒng)互鎖技術及隔離屏蔽技術: 本設備不僅具備過壓、過流保護系統(tǒng),它雙系統(tǒng)互鎖機制,當任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時,將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術以保證采集電流的有效值 ,以及電流抗干擾的屏蔽。

● SPWM電子升壓技術 目前設備大都采用SPWM電子升壓技術,這一技術具有升壓速度平穩(wěn),精度高。便于維護等優(yōu)點是調壓器。

技術參

數(shù)



●測量溫度:室溫---600°C ;


●控溫精度:±1℃ ,


●顯示精度:±0.1℃;


●升溫斜率:1-5°C/min;


●測量精度:0.05%;


●電阻率:10-5 ~105 Ω.cm ;


●電導率:10-5 ~105 s/cm


●方塊電阻:10-4 ~106 Ω/□;


●電阻:10-5 ~105 Ω;


●探針間距:2±0.01mm;


●探針壓力:0~2kg可調;


●針間絕緣電阻:≥1000MΩ;


●真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s ;


●樣品:直徑15~30mm,厚度小于4mm;


●設備尺寸:680mmX450mmX400mm







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